- 特徴
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- 非接触、高精度、ナノオーダーでの厚みを自動で測定
- 要求仕様に沿ったセンサを選定可能
- 測定対象物に合わせた受台、測定方法、表示を自在にカスタマイズ可能
- センサコントローラー、制御部、表示部を測定器に内蔵でコンパクト化を実現
- 任意のデータをCSVファイルにて、PC、サーバー等へ出力可能
- 設計、加工、組立、調整が社内一貫体制のため低価格、短納期を実現
- 用途
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- フィルム、シート、ガラス、パネル、レンズ、ウェハ等の厚み、平坦度、隙間（ギャップ）測定
- テープ付きウェア厚み測定
- 樹脂、コーティング剤、接着剤等、接触式の測定では精度が出せない材質の厚み測定
- 金属の厚み、平面度測定
- その他材質、測定方法も短期間で検証いたします。
製品の仕様(クリックで表示されます。)
XY自動ステージ部
| 標準タイプ（厚み測定） | 精密タイプ（厚み、平面度測定） | |
| 型式 | pos-xy30l〜pos-xy500l | pos-xy100h〜pos-xy300h |
| 移動方式 | x軸 y軸 | |
| 測定範囲 | 30mm×30mm〜500mm×500mm | 100mm×100mm〜300mm×300mm |
| ガイド方式 | リニアガイド | 精密リニアガイド |
| 送り方式 | ボーネルネジ リード2〜10mm | ボーネルネジ リード5mm |
| モーター | 5相ステッピングモーター | |
| 最小送り量 | 0.5μm/step（認定可変） | |
| 最高移動速度 | 50mm/csec 〜 80mm/sec | 50mm/csec |
| 平行度 | 10μm〜35μm | 5μm |
| 位置決め精度 | 20μm〜60μm | 20μm |
| 繰返し位置決め精度 | ±3μm〜±5μm | ±0.5μm |
| バックラッシュ | 2μm〜20μm | 2μm |
制御部
| 制御コントローラー | キーエンス KVシリーズ |
|---|---|
| タッチパネル | キーエンス KTシリーズ |
| モーター | オリエンタルモーター 5相ステッピングモーター |
| 外部データ出力方式 | LAN |
センサ部（キーエンス）※一例
| 型式 | SI-F10 | SI-F80 |
|---|---|---|
| 用途例 | 2ヘッド挟み込みによる厚み測定 | 1ヘッドによる厚み、隙間（ギャップ）測定 |
| 測定方式 | 分光干渉式 | |
| 測定範囲 | 11.3〜12.35mm | 0.05〜1.1mm(設置距離80〜81.1mm) |
| 最小スポット径 | Φ40μm | Φ20μm |
| 分解能 | 0.01μm | 0.001μm |
| 直線性 | ±0.3μm | ±0.2μm |
センサの単体のスペック例です。実際の精度はセンサの種類、測定対象物、測定方法等により異なります。
- 外形寸法（標準タイプPOS-XY30L）
