非接触反り測定機
| 装置仕様 | φ150サイズのウェハをオプティカルフラットとのギャップにて反り測定 |
|---|---|
| 制御 | シーケンス制御、モーター1軸制御 |
| 装置サイズ | 巾450×高さ550×奥行560 |
| 特徴 | 駆動系などの真直度を無視してワークの真の反りを測定 |
| 仕様 | キーエンス製分光干渉計SI-F80シリーズ使用 φ200オプティカルフラット使用 繰り返し測定精度±0.3ミクロン以下 |
オプティカルフラット ギャップ部
| 装置仕様 | φ150サイズのウェハをオプティカルフラットとのギャップにて反り測定 |
|---|---|
| 制御 | シーケンス制御、モーター1軸制御 |
| 装置サイズ | 巾450×高さ550×奥行560 |
| 特徴 | 駆動系などの真直度を無視してワークの真の反りを測定 |
| 仕様 | キーエンス製分光干渉計SI-F80シリーズ使用 φ200オプティカルフラット使用 繰り返し測定精度±0.3ミクロン以下 |
