非接触ウェハ厚み測定機
| 装置仕様 | φ150サイズのウェハ厚みを非接触で測定 |
|---|---|
| 制御 | シーケンス制御、モーター2軸 |
| 装置サイズ | 巾350×高さ600×奥行500 |
| 特徴 | ウェハ単体の厚みとテープ厚みを同時測定 |
| 仕様 | キーエンス製分光干渉計SI-F10シリーズ 2本使用 繰り返し測定精度ウェハ単体±0.3ミクロン以下 テープ厚み±1ミクロン以下 |
| 装置仕様 | φ150サイズのウェハ厚みを非接触で測定 |
|---|---|
| 制御 | シーケンス制御、モーター2軸 |
| 装置サイズ | 巾350×高さ600×奥行500 |
| 特徴 | ウェハ単体の厚みとテープ厚みを同時測定 |
| 仕様 | キーエンス製分光干渉計SI-F10シリーズ 2本使用 繰り返し測定精度ウェハ単体±0.3ミクロン以下 テープ厚み±1ミクロン以下 |
