非接触ウェハ厚み測定機
| 装置仕様 | φ300mmシリコンウェハ厚みを非接触で測定 |
|---|---|
| 制御 | シーケンス制御、モーター2軸制御 |
| 装置サイズ | 巾675×高さ703×奥行745 |
| 特徴 | センサを4本使用してテープ付きシリコンウェハの測定 |
| 仕様 | キーエンス製分光干渉式センサSIシリーズ 4本使用 繰り返し測定精度±0.3ミクロン以下(SI-F10)、±0.1ミクロン以下(SI-F80R) |
| 装置仕様 | φ300mmシリコンウェハ厚みを非接触で測定 |
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| 制御 | シーケンス制御、モーター2軸制御 |
| 装置サイズ | 巾675×高さ703×奥行745 |
| 特徴 | センサを4本使用してテープ付きシリコンウェハの測定 |
| 仕様 | キーエンス製分光干渉式センサSIシリーズ 4本使用 繰り返し測定精度±0.3ミクロン以下(SI-F10)、±0.1ミクロン以下(SI-F80R) |
